第一代是构造型传感器,它应用构造参质变化来感受和转化信号。构造型传感器虽属早期开发的产品,但近年因由于新材料、新原理、新工艺的相继应用,在准确度、牢靠性、稳定性、灵敏度等方面也有了很大的提高。目前构造型传感器在工业自动化、进程检测与其它等方面仍占有相当大的比重。
第二代是上70年代开展起来的固体型传感器,这种传感器由半导体、电介质、磁性材料等固体元件构成,是应用材料某些特性制成。如:应用热电效应、霍尔效应、光敏效应,辨别制成热电偶传感器、霍尔传感器、光敏传感器。这类传感器基于物性变化,无运动部件,构造复杂,体积小;运动响应好,且输出为电量;易于集成化、智能化;低功耗、安全牢靠。虽然优势很多,但线性度差、温漂大、过载才能差、性能参数团圆大。
第三代传感器是以后刚刚开展起来的智能型传感器,是微型计算机技术与检测技术相结合的产物,使传感用具有一定的人工智能。智能型传感器技术目前正处于蓬勃开展时期,具有代表典型作品是美国霍尼韦尔公司的ST-3000系列智能变送器和德国斯特曼公司的二维减速度传感器,以及一些含有微处置器的单片集成压力传感器、具有多维检测才能的智能传感器和固体图像传感器等。随着不断的开展,毫无疑问,智能型传感器将会进一步扩展到化学、电磁、光学和核物理等研究范畴。可以预见,新兴的智能化传感器将会在关系到全人类民生的各个范畴发扬越来越大的作用。